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半导体行业石英舟

日期:2019-12-20     点击:8    评论:0    展开全部     查看原图
简介:












 半导体行业石英舟
 

简介:

       一种生长低熔点半导体材料用的滑动石英舟,涉及一种生长低熔点半导体材料用的生长舟。采用高纯石英制作,由上面的压块下面的底板及压块、固结的石英推杆组成,底板上设有一个凹槽,凹槽内放置衬底;压块中部设有两个垂直方向贯通压块的井,井内放置生长溶液,其平底部分的底面被抛光,光滑度达到镜面级,以便使生长出的外延层表面光滑;压块与底板匹配且压块按需要沿底板水平移动。石英不吸附杂质,电学性能好;外延层的截止波长不随外延层厚度变化,特别适合生长窄禁带材料


退火温度:1500

软化温度:1760℃

长期工作温度:1200℃

短期工作温度:1300℃

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